据路亿市场策略(LP information)调研

2022年全球EUV光罩缺陷检测设备市场规模大约为27百万美元，预计2029年达到35百万美元，2023-2029期间年复合增长率（CAGR）为3.9%。就销量而言，2022年全球EUV光罩缺陷检测设备销量为 ，预计2029年将达到 ，年复合增长率为 %。

(资料图片)

由于 EUV 光刻需要极其精确的掩模图案，因此缺陷检测设备对高分辨率成像功能的需求不断增长。制造商正在投资先进的显微镜和成像技术，以实现更高的分辨率和改进的缺陷检测能力。

EUV光罩缺陷检测设备产品类型

芯片与芯片的模式

芯片与数据库模式

EUV光罩缺陷检测设备应用

芯片制造厂

光罩厂

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Lasertec

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ASML (HMI)

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